【英文标准名称】:StandardTestMethodforTraceMetallicImpuritiesinElectronicGradeAluminumbyHighMass-ResolutionGlow-DischargeMassSpectrometer
【原文标准名称】:应用高质量分辩率辉光放电质谱计测定电子级铝中微量金属杂质的标准试验方法
【标准号】:ASTMF1593-2008
【标准状态】:现行
【国别】:美国
【发布日期】:2008
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(US-ASTM)
【起草单位】:F01.17
【标准类型】:(TestMethod)
【标准水平】:()
【中文主题词】:
【英文主题词】:aluminum;electronics;glowdischargemassspectrometer(GDMS);purityanalysis;sputteringtarget;tracemetallicimpurities;Aluminumelectricalconductors(semiconductors);Glowdischargemassspectrometer(GDMS);High-purityaluminum;Impurities--
【摘要】:Thistestmethodisintendedforapplicationinthesemiconductorindustryforevaluatingthepurityofmaterials(forexample,sputteringtargets,evaporationsources)usedinthinfilmmetallizationprocesses.Thistestmethodmaybeusefulinadditionalapplications,notenvisionedbytheresponsibletechnicalcommittee,asagreeduponbythepartiesconcerned.ThistestmethodisintendedforusebyGDMSanalystsinvariouslaboratoriesforunifyingtheprotocolandparametersfordeterminingtraceimpuritiesinpurealuminum.Theobjectiveistoimprovelaboratorytolaboratoryagreementofanalysisdata.ThistestmethodisalsodirectedtotheusersofGDMSanalysesasanaidtounderstandingthedeterminationmethod,andthesignificanceandreliabilityofreportedGDMSdata.Formostmetallicspeciesthedetectionlimitforroutineanalysisisontheorderof0.01weightppm.Withspecialprecautionsdetectionlimitstosub-ppblevelsarepossible.Thistestmethodmaybeusedasarefereemethodforproducersandusersofelectronic-gradealuminummaterials.1.1Thistestmethodcoversmeasuringtheconcentrationsoftracemetallicimpuritiesinhighpurityaluminum.1.2Thistestmethodpertainstoanalysisbymagnetic-sectorglowdischargemassspectrometer(GDMS).1.3Thealuminummatrixmustbe99.9weight%(3N-grade)pure,orpurer,withrespecttometallicimpurities.Theremustbenomajoralloyconstituent,forexample,siliconorcopper,greaterthan1000weightppminconcentration.1.4ThistestmethoddoesnotincludealltheinformationneededtocompleteGDMSanalyses.Sophisticatedcomputer-controlledlaboratoryequipmentskillfullyusedbyanexperiencedoperatorisrequiredtoachievetherequiredsensitivity.Thistestmethoddoescovertheparticularfactors(forexample,specimenpreparation,settingofrelativesensitivityfactors,determinationofsensitivitylimits,etc.)knownbytheresponsibletechnicalcommitteetoaffectthereliabilityofhighpurityaluminumanalyses.1.5Thisstandarddoesnotpurporttoaddressallofthesafetyconcerns,ifany,associatedwithitsuse.Itistheresponsibilityoftheuserofthisstandardtoestablishappropriatesafetyandhealthpracticesanddeterminetheapplicabilityofregulatorylimitationspriortouse.
【中国标准分类号】:L90
【国际标准分类号】:77_040_99
【页数】:7P.;A4
【正文语种】:英语
基本信息
| 标准名称： | 照相镜头的色贡献指数 |
| 英文名称： | Colour contribution index of camera lenses |
| 中标分类： |
仪器、仪表 >>
电影、照相、缩微、复印设备 >>
镜头 |
| ICS分类： |
成像技术 >>
摄影技术 >>
摄影设备、投影仪
|
| 替代情况： | JB/T 8251-1999(原标准号GB 9191-1988) |
| 发布日期： | 1999-08-06 |
| 实施日期： | 2000-01-01 |
| 首发日期： | 1900-01-01 |
| 作废日期： | 1900-01-01 |
| 归口单位： | 全国照相机械标委会 |
| 出版社： | 机械工业出版社 |
| 出版日期： | 2005-06-11 |
| 页数： | 10 页 |
适用范围
没有内容
前言
没有内容
目录
没有内容
引用标准
没有内容
所属分类： 仪器 仪表 电影 照相 缩微 复印设备 镜头 成像技术 摄影技术 摄影设备 投影仪